Product

產品與技術

靶材﹝Target﹞是光電業、半導體業所常用之一種濺鍍材料,住華科技是唯一由鋁礦至Bonding一貫完成的材料供應商,因應客戶需求,提供給全世界高品質且信賴性高之靶材,並可確保料源穩定,生產實績世界第一。

住華科技使用高純度鋁靶材,製造過程使用住友化學的原料與技術基準,結合海外對應經驗(韓國、日本、中國)提供客户更多元化的產品及服務。

因應面板廠的世代演進,住華科技可供應各尺寸靶材(G3~G8.6)。本公司專注於鋁靶材的Bonding製造與服務,確保品質穩定、快速回應客戶需求,配合客戶製程改善目標,共同研發出高效率靶材,達成雙方互利的成果。

Production Process
高純度化
Refining
溶解
Melting
精煉
Purification
鑄造
Casting
結晶制御
Deforming & Heat Treatment
切削加工
Cutting
接合
Bonding
真空包裝
Sealing
捆包
Packing
出貨
Shipping
Products Line-up
Purity Al 5N (99.999%up)
Cu 4N (99.99%up)
Products Line-up
Alloys Al-Pure、Al-Si、Al-Cu、etc.
(Every type of Al Alloy)
Purity Max. size about 3.0x4.0m
(Every type Ex.Rotary type)

住友化學靶材的獨創性

  • 經由長年鋁精製技術的累積,研發出潔淨且高純度,高信賴性的鋁,可製造出微含量鈾和釷的鋁靶材並應用於半導體材料中。

  • 運用獨特的結晶控制技術,製作出適用各種濺鍍設備之靶材。

晶粒大小的控制

結晶方位的控制

面板用靶材

一體型

分割型

半導體用靶材

EB接合法